ミラー

平面ミラーと球面ミラー

ミラーまたは全反射鏡は、レーザー旋盤でリア鏡とフォールドミラーとして使用され、外部ではビーム伝送システムのビームベンダーとして使用されます。

シリコンは、最も一般的に使用される鏡面です。長所は、低コストで、耐久性と熱安定性に優れています。

銅は、通常高熱伝導率の高出力アプリケーションに使用されます。

モリブデンの非常に丈夫な表面は、最も過酷な物理的環境に最適で、通常は、コーティングを施さずに提供されます。

仕様		標準
寸法公差	直径厚み	+0.000”-0.005” +/-0.010”
平行現象	平面曲径、直径<1” 曲径、直径<1”	<= 3分角 <= 10分角 <= 5分角
有効径（研磨済み）		直径の90%
表面精度（出力/イレルギャリティ）	平面と曲径 r > 1 m	出力：2フリンジ・イレギュラリティ１フリンジ
スクラッチディグ		10-5

パーツ番号	仕様	直径 (インチ)	直径 (mm)	縁圧 (インチ)	縁圧 (mm)	サイド１コーティング
466761	Si	0.5	12.7	0.118	2.99	EG
850800	Si	1.0	25.4	0.120	3.05	ES
690933	Si	1.5	38.1	0.375	9.53	MMR
221987	Si	1.75	44.45	0.375	9.53	EG
408825	Si	2.0	50.8	0.200	5.08	DEMMR
341534	Si	2.0	50.8	0.200	5.08	TRZ
674480	Si	2.0	50.8	0.400	10.16	TRZ
614835	Si	3.0	76.2	0.250	6.35	TRZ
148570	Cu	1.1	37.94	0.236	5.99	EG
370229	Cu	1.969	50.01	0.200	5.08	TRZ
482518	Cu	1.969	50.01	0.354	8.99	EG
832216	Cu	1.969	50.01	0.394	10	TRZ
658306	Cu	2.362	59.99	0.236	5.99	TRZ
137530	Cu	4.0	101.6	0.75	19.05	PS
650010	Cu-WC*	4.25	107.95	1.5	38.1	ES
229095	Mo	4.0	101.6	0.350	8.89	UC
*WCは、水冷式銅球面パーツにつきましては、 II-VI セールス担当者にお問い合わせください。正確な使用につきましては、II-VIセールス担当者にお問い合わせください。

軸外し放射面鏡

銅基盤で作られているミラーは、正しくマウント、調節されている時、回析限界集光を提供しながら、非常に強力なレーザー出力と産業環境に耐えます。

銅鏡は、高反射率と耐久力があるモリブデン上塗りを行うことができます。こうすると、鏡の手入れがしやすくなります。

放物面鏡は、レーザービームを90度の角度か他の手ごろな角度で反射、集光するために設計されています。

冷水式、非標準マウント構成などのカスタム設計特性は、リクエストにより利用可能です。


性能使用を保証するために、すべてのマウント面は適切に調整され、スクリュートルクはII-VIの推奨要件を超えることはできません。また、レーザーソースは、放射面軸に調整されていなければなりません。

仕様	標準
直径	+0.00/-0.12 mm
入射角	+3.5分
ワーキングディスタンス	±0.008”
有効径	ミラーの表面の90%
表面の粗さ	< 175 A RMS
スクラッチディグ	40-20
表面精度	２フリンジ（山から谷間で） @ 632 nm

パーツ番号	仕様	直径 (mm)	回転角	ワーキングディスタンス	マウント
PM-CU-49.5-90-200-UC*-MM2	Cu	49.5	90º	200	MM2
PM-CU-49.5-90-125-UC*-MM2	Cu	49.5	90º	125	MM2
PM-CU-49.5-90-250-UC*-MM2	Cu	49.5	90º	250	MM2
PM-CU-49.5-90-175-UC*-MM2	Cu	49.5	90º	175	MM2
PM-CU-25-90-125-UC*-MM3	Cu	25	90º	125	MM3
PM-CU-25-90-200-UC*-MM3	Cu	25	90º	200	MM3
* UCはコーティングされていません。正確な仕様につきましては、II-VIセールス担当者にお問い合わせください。

シリンダーミラー

名前が示すように、シリンダー・ミラーは、円柱状の表面を伴う円形か長方形のオブジェクトです。球面ミラーとは異なり、ビームを焦点ではなく焦線にあわせます。

反射率は、光学表面に高反射コーティングを行うことにより向上します。光スペクトルのさまざまな領域で多層コーティングが可能です。円柱状のミラーは、Cu, Si, Ge, Al及び他の金属材料で作られます。

アプリケーションには、レーザースキャナー、半導体レーザーシステム、分光光度計、プロジェクタ、光学的データストレージと検索システムなどがあります。

トロイド・ミラー

多数のアプリケーションでは、球面ミラー、円柱状ミラー、放射面鏡は、レーザービームを形成するのに使用されます。バイコニックミラー、さらに一般的に言えばドーナツ型のミラーは、2つの別々の光学部品を１つに結合するために使用されます。

双円錐型ミラーは、1つの基盤に２つの別々の曲径があります。双円錐型ミラーで、アプリケーションにより球形のカーブまたは非球形のカーブが作れますが、収差を解消する必要があります。トロイドミラーは、通常の90度のベンドミラーと交換し、レーザービームを再度平行にすることが可能です。

ガルバノミラー

スキャニング・レーザー・システムは、型彫りかマイクロビアホールかにかかわらず、レーザービームを正確に位置づけするには、ガルバノミラーに頼っています。II-VI は、ミラーグレードのシリコン基盤から組み込み使用のガルバノ・ミラーを製造しています。当社は、精密薄膜コーティングをこうした基盤に適用し、非常に効率的に1.0－12.0µmの範囲でレーザー光線を反射するガルバノミラーを製造しています。

Nd:YAG レーザー (1.06µm) と炭酸ガスレーザー (9.3 － 10.6 µm)に最適な ) II-VIガルバノ・ミラーは、さまざまな産業用アプリケーションに適しています。また、可視ヘリウムネオンレーザーまたはダイオードレーザーのアライメントが必要なアプリケーションでは、当社の２波長コーティングが、可視アライメント光線に対して優れた反射率を提供しながら、炭酸レーザー赤外光線に対して最大反射率をもたらします。当社の双高度最大金属反射(DEMMR)コーティングは、このアプリケーションへの最良の選択です。（詳細は、図１と２に表示されています。）

II-VI ガルバノ・ミラーのサイズは、通常OEMベースで直径0.5－2インチ（約1.2－4.5センチ）です。

II-VIガルバノ・ミラーの特徴

ミラー・グレードのシリコン基盤
熱安定性が石英ガラス基盤より優れている
OEM仕様に組み込まれている形状
Nd:YAGレーザー、炭酸ガスレーザー、共軸ヘリウムネオンまたはダイオード・レーザー・アライメント・ビームを伴う炭酸ガスレーザー向け高反射コーティング

アプリケーションには、次のものがあります。

レーザー・マーキングと型彫り
レーザー・ドリリング
レーザー溶接
急速な試作
イメージングとプリンティング
半導体加工（メモリの修復、レーザー・トリミング）
リモート・レーザー溶接

各種曲径ミラー

II-VI の各種曲径ミラー(VRM) により、ユーザーは光線の特性を急速にダイナミックに変更することが可能です。VRMの像面の湾曲の半径を水圧で調整することにより、ユーザーはレーザー光線の発散を調整することが可能です。

VRMは、材料に穴を開けているとき、焦点の深さの調節を可能にし、この機能により最適な切断速度を作り出します。また、フライング光学システム製造メーカーが作業台全体で焦点距離の変動を取り除くことが可能です。この機能は、大型の作業台では、光学経路が作業領域全愛で移動するにつれて、レーザー光線の発散がレンズで変化するため、特に重要です。

VRMは、ほぼ正常な入射角で使用するために設計されています。多数のレーザー切断システムは、望遠鏡光学部品として２つのミラーを使用しています。望遠鏡は、凸面鏡と凹面鏡を１つずつ使用しています。これらのミラーのうち１つをVRMと取り替えると、上記に列挙されている利点を実現することが可能です。

圧力制御
VRMで圧力を制御するには、最低2種類の方法があり、その結果、鏡面の曲径を調節します。主なコンポーネントは、可変スピードポンプか比例調整値です。こうしたアイテムは、拡大鏡で働きます。拡大鏡への入力は、通常0－10ボルトシグナルです。拡大鏡は、拡張可能か閉ループ方式です。

特注設計
II-VI は、どんなビーム伝送システムにも適応できるミラーを設計するエンジニアリング能力があります。適切な設計技術を使用して、VRMの形状を正確にモデル化し、圧力のもとでどのように変形するのかを予測します。ミラー形状は、お客様が定義する圧力曲径カーブに一致するように最適化されます。

水圧システムのサンプル
下の図面は、ミラーのくぼみで圧力を測定するために圧力変換器を使用する閉ループ方式を示しています。信号は、CMCコントローラーにフィードバックされます。

仕様	標準
基盤	銅
標準ミラー直径	57.1 mm, 79.0 mm
使用可能な有効径	35 mm, 50 mm
曲径の範囲*	6 MCC - 6 MCX 3 MCC - PO PO - 3 MCX 1.2 MCX - 1.6 MCX
圧力範囲:	3 - 11バー
水流率:	1リットル以下/分
入射角:	ほぼ正常
MMR-A タイプ・コーティングの反射率:	> 99.8%
ポインティングの安定性:	<= 30秒角
*カスタマイズされた曲径範囲が利用可能です。 M ＝メーター、 CC = 凹面, CX ＝凸面、 PO＝平面

標準ミラー・コーティング

	コーティングしていない金属			シルバーベース		ゴールドベース					最大金属ミラー			円偏光ミラー			偏光調節
	Al	Cu	Mo	PS	ES	BG	PG	EG	PEG	SEG	MMR	MMR-A	DEMMR	TRZ	λ/4 RPR*	λ/4 HRPR*	ATFR	PLM	PLM-W
%R @ 0º AOI @ 10.6µm	98.3	99.2	98.0	99.1	99.6	99.0	98.8	99.5	99.4	99.6	99.8	99.8	99.8	+	+	+	+	+	+
%R @ 45º AOI S-Pol @ 10.6µm	98.7	99.4	98.8	99.4	99.7	99.4	99.3	99.7	99.6	99.8	99.9	99.8	99.8	+	+	+	>=99.0	>=99.5	>=99.8
%R @ 45º AOI P-Pol @ 10.6µm	97.4	98.9	97.3	98.8	99.2	98.5	98.4	99.2	99.1	99.3	99.7	99.6	99.6	+	+	+	<=1.5	<=90.0	<=97.0
%R @ 45º AOI R-Pol @ 10.6µm	98.3	99.2	98.0	99.1	99.5	99.0	98.8	99.5	99.4	99.6	99.8	99.7	99.7	99.5	98.0	99.0	+	+	+
%R @ 45º AOI R-Pol @ 0.6328µm	~50-90	>90	~40-70	95	~60-95	90	80	~50-90	80	~50-90	40	80	80	80	+	+	80	+	+
Phase Retardation @ 45º AOI	<2º	<2º	<2º	6º-9º	+	<2º	+	+	+	+	<2º	+	+	<2º	90º+/-3º	90º+/-6º	+	+	+
* これらの製品は、入射角45度で標準偏光45度のAOIで使用されます。
+これらの製品は、これらのパラメーターで使用することを意図していません。

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